[实用新型]化成工艺负压控制系统的气路组件有效
| 申请号： | 202222225777.0 | 申请日： | 2022-08-23 |
| 公开（公告）号： | CN217875330U | 公开（公告）日： | 2022-11-22 |
| 发明（设计）人： | 李东升 | 申请（专利权）人： | 深圳和润达科技有限公司 |
| 主分类号： | F17D1/02 | 分类号： | F17D1/02;F17D3/01;H01M10/0525;H01M10/058;H01M10/44 |
| 代理公司： | 广州恒华智信知识产权代理事务所(普通合伙) 44299 | 代理人： | 唐一鸣 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市光明区凤凰街道*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 一种化成工艺负压控制系统的气路组件，包括：底座、输入接口、真空调压阀、气控阀、输出接口、用于检测所述输出接口气压的压力表和破真空阀，所述真空调压阀、气控阀、压力表和破真空阀都设置于底座，所述输入接口、真空调压阀、气控阀和输出接口依次连通，所述破真空阀与输出接口连通。对于上述气路组件，由于上述零件都设置于底座，因此能够提升气路组件的集成化程度，减小占用空间；由于破真空阀与压力表相距较近，因此能够提升破真空的响应速度。由于各零部件全部安装在电源柜侧，因此利于现场工作人员的维护和安全。 | ||
| 搜索关键词： | 化成 工艺 控制系统 组件 | ||
【主权项】：
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