[实用新型]一种用于激光雷达的人眼安全长波长VCSEL阵列芯片有效
| 申请号： | 202222207079.8 | 申请日： | 2022-08-22 |
| 公开（公告）号： | CN217740981U | 公开（公告）日： | 2022-11-04 |
| 发明（设计）人： | 鄢静舟;薛婷;季晓明;柯程;杨奕;吴建忠 | 申请（专利权）人： | 福建慧芯激光科技有限公司 |
| 主分类号： | H01S5/024 | 分类号： | H01S5/024;H01S5/02326;H01S5/343;H01S5/183 |
| 代理公司： | 泉州市博一专利事务所(普通合伙) 35213 | 代理人： | 洪渊源;苏秋桂 |
| 地址： | 362100 福建省泉州*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种用于激光雷达的人眼安全长波长VCSEL阵列芯片，涉及半导体光电子技术领域，包括散热片以及若干排列键合于散热片上方的VCSEL，各VCSEL由下至上依次包括介质层DBR、第二N型掺杂DBR、第二掩埋隧穿结、多结级联有源区、第一N型掺杂DBR、InP第二缓冲层和光栅层；相邻两VCSEL的介质层DBR之间填充有用于连接散热片的焊料。本实用新型利用介质层DBR+第一N型掺杂DBR以及光栅层+第二N型掺杂DBR的组合反射镜代替传统VCSEL中的单一半导体DBR反射镜，由此一方面降低了VCSEL的光、电损耗，减小了串联电阻，提高了VCSEL的电光转换效率，另一方面提高了VCSEL芯片的散热能力和高温工作性能，并降低了器件的制作难度，符合激光雷达对长波长VCSEL的特性需求。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 激光雷达 人眼安 全长 波长 vcsel 阵列 芯片 | ||
【主权项】：
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