[实用新型]高纯气体供应系统特气供应分流盘

摘要

本实用新型公开了高纯气体供应系统特气供应分流盘，包括盘体，所述盘体的内部环绕设置有过滤网格，所述盘体的外侧表面设置有进气口，所述进气口的顶部设置有控制阀，所述盘体的顶部设置有盖板，所述盖板的顶部设置有调节柱，所述调节柱的外侧表面套设有套筒，所述套筒的外端设置有定位板，所述盖板的底部表面环绕设置有插接针，且插接针对应的盘体顶部表面环绕设置有插接孔。该高纯气体供应系统特气供应分流盘，在进行日常使用的过程中，可根据实际气体分流输送的方向不同需要，通过将相应的进气口与进出气设备进行连接，并且通过控制阀进行实时启闭相应的进气口，进而实现对分流的方向进行实时控制，使得分流盘使用的灵活性更好。