[实用新型]高纯气体供应系统特气供应分流盘

说明书

本实用新型公开了高纯气体供应系统特气供应分流盘，包括盘体，所述盘体的内部环绕设置有过滤网格，所述盘体的外侧表面设置有进气口，所述进气口的顶部设置有控制阀，所述盘体的顶部设置有盖板，所述盖板的顶部设置有调节柱，所述调节柱的外侧表面套设有套筒，所述套筒的外端设置有定位板，所述盖板的底部表面环绕设置有插接针，且插接针对应的盘体顶部表面环绕设置有插接孔。该高纯气体供应系统特气供应分流盘，在进行日常使用的过程中，可根据实际气体分流输送的方向不同需要，通过将相应的进气口与进出气设备进行连接，并且通过控制阀进行实时启闭相应的进气口，进而实现对分流的方向进行实时控制，使得分流盘使用的灵活性更好。

技术领域

本实用新型涉及高纯气体供应系统特气供应分流技术领域，具体为高纯气体供应系统特气供应分流盘。

背景技术

高纯气体通常指利用现代提纯技术能达到的某个等级纯度的气体。对于不同类别的气体，纯度指标不同，例如对于氮，氢，氩，氦而言，通常指纯度等于或高于99.999％的为高纯气体；而对于氧气，纯度为99.99％即可称高纯氧；对于碳氢化合物，纯度为99.99％的即可认为是高纯气体，高纯气体应用领域极宽，在半导体工业，高纯氮、氢、氩、氦可作为运载气和保护气；高纯气体可作为配制混合气的底气，高纯气体供应系统运行过程需要通过分流盘进行分流。

现有分流盘结构简单，功能单一，无法根据实际使用需要进行分流的方向调节，同时无法根据实际分流盘安装需要进行高度调节，使用的限制性较大灵活性较差，且无法对分流导送的气体进行实时过滤，使得气体导送过程容易受到污染影响气体纯度。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供高纯气体供应系统特气供应分流盘，以解决上述背景技术中提出的现有分流盘结构简单，功能单一，无法根据实际使用需要进行分流的方向调节，同时无法根据实际分流盘安装需要进行高度调节，使用的限制性较大灵活性较差，且无法对分流导送的气体进行实时过滤，使得气体导送过程容易受到污染影响气体纯度的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：高纯气体供应系统特气供应分流盘，包括盘体，所述盘体的内部环绕设置有过滤网格，所述盘体的外侧表面设置有进气口，所述进气口的顶部设置有控制阀，所述盘体的顶部设置有盖板，所述盖板的顶部设置有调节柱，所述调节柱的外侧表面套设有套筒，所述套筒的外端设置有定位板。

优选的，所述盖板的底部表面环绕设置有插接针，且插接针对应的盘体顶部表面环绕设置有插接孔。

优选的，所述定位板与套筒一体成型压合而成，所述定位板的两侧表面贯穿设置有定位螺孔，且定位螺孔的内侧活动安装有定位螺栓。

优选的，所述过滤网格的顶部两侧皆固定安装有拉环，且调节柱的表面和套筒的内壁皆设置有扭合螺纹。

优选的，所述进气口沿着盘体外侧表面环绕排布设置，且进气口之间的排布距离皆相等。

优选的，所述盖板的底部表面设置有密封垫，且密封垫的材质为橡胶。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

该高纯气体供应系统特气供应分流盘，在进行日常使用的过程中，可根据实际气体分流输送的方向不同需要，通过将相应的进气口与进出气设备进行连接，并且通过控制阀进行实时启闭相应的进气口，进而实现对分流的方向进行实时控制，使得分流盘使用的灵活性更好。

该高纯气体供应系统特气供应分流盘，在进行日常使用的过程中，可根据实际安装的高度不同需要，通过人工扭动调节柱在套筒内壁螺纹扭合驱动，实现对调节柱的实时延伸距离进行调节，进而实现对分流盘的高度进行实时调节，使得安装使用的整体局限性更小，同时可通过过滤网格对分流输送的气体进行实时过滤除尘，使得分流输送的气体更加纯净。

附图说明

图1为本实用新型的主视图；

图2为本实用新型的盘体结构俯视图；