[实用新型]一种靶材组件取放器有效
| 申请号： | 202222170010.2 | 申请日： | 2022-08-18 |
| 公开（公告）号： | CN218397889U | 公开（公告）日： | 2023-01-31 |
| 发明（设计）人： | 陈强;童许樑 | 申请（专利权）人： | 绍兴中芯集成电路制造股份有限公司 |
| 主分类号： | B25B27/00 | 分类号： | B25B27/00 |
| 代理公司： | 绍兴市知衡专利代理事务所(普通合伙) 33277 | 代理人： | 邓爱民 |
| 地址： | 312000 浙江省*** | 国省代码： | 浙江;33 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型涉及一种靶材组件取放器，靶材组件包括背板、靶材本体以及安装于背板上的固定杆，取放器包括本体，本体的两个相对端分别设有夹持部，夹持部用于夹持住固定杆。本实用新型所设计的靶材组件取放器可用于PVD设备上对靶材组件的拆装，利用靶材组件取放器上的夹持部将固定杆夹持住，搬运靶材组件时，双手握住靶材组件取放器的本体进行发力，由于靶材组件取放器的本体远比固定杆的手持部面积大，更容易抓住且手部不易脱力，在实际使用时，一组靶材组件上可安装一对靶材组件取放器，两人各自握住一个靶材组件取放器向上抬起对靶材组件进行拆装，相比于现有技术中仅靠手握固定杆抬起更加稳定，避免了搬运过程中意外掉落造成靶材的损坏。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 组件 取放器 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于绍兴中芯集成电路制造股份有限公司，未经绍兴中芯集成电路制造股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202222170010.2/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：水泥胶砂试模盖板及水泥胶砂试模装置
- 下一篇：一种溢流坝式泄水槽结构
