[实用新型]一种靶材组件取放器

说明书

本实用新型涉及一种靶材组件取放器，靶材组件包括背板、靶材本体以及安装于背板上的固定杆，取放器包括本体，本体的两个相对端分别设有夹持部，夹持部用于夹持住固定杆。本实用新型所设计的靶材组件取放器可用于PVD设备上对靶材组件的拆装，利用靶材组件取放器上的夹持部将固定杆夹持住，搬运靶材组件时，双手握住靶材组件取放器的本体进行发力，由于靶材组件取放器的本体远比固定杆的手持部面积大，更容易抓住且手部不易脱力，在实际使用时，一组靶材组件上可安装一对靶材组件取放器，两人各自握住一个靶材组件取放器向上抬起对靶材组件进行拆装，相比于现有技术中仅靠手握固定杆抬起更加稳定，避免了搬运过程中意外掉落造成靶材的损坏。

技术领域

本实用新型涉及半导体生产设备，具体涉及一种靶材组件取放器。

背景技术

物理气相沉积（PVD）工艺是半导体制造中常用的一道工序，工艺腔室内设有靶材组件，通过蒸发或溅射方式在基材表面形成一层涂层。而靶材组件中如图1所示，是将靶材本体2固定安装于背板1上，两者通过螺丝固定在一起组合成靶材组件，两者之间为形成密封还设有密封圈3。靶材组件安装于工艺腔室内或从工艺腔室内取出时，都需要借助工具进行搬运，现有技术中主要采用在背板1边缘安装固定杆4，固定杆4顶部设有圆形手持部，手握住固定杆4的手持部作为发力点对靶材组件进行提取。由于靶材本体2比较重，尤其是金、银、镍、钒等材质的靶材重量较大，手持固定杆4从机台上抬起搬下过程中，由于固定杆4的手持部比较圆滑，在提取过程中容易脱力造成靶材组件的意外跌落，也容易造成手腕的损伤，现有的靶材组件搬运工具尚存在一定的改进空间。

实用新型内容

本实用新型公开一种靶材组件取放器，可利用该取放器将安装于背板上的固定杆夹持住，搬运时手持取放器的本体作为发力点，手部不易脱力。

为了实现上述目的，本实用新型所采用的技术方案为：

一种靶材组件取放器，所述靶材组件包括背板、靶材本体以及安装于背板上的固定杆，所述取放器包括本体，所述本体的两个相对端分别设有夹持部，所述夹持部用于夹持住所述固定杆。

进一步，所述夹持部包括开合机构和锁紧机构，所述开合机构包括贯通本体的嵌合孔，所述嵌合孔采用拼合方式形成，所述锁紧机构用于拼合形成所述嵌合孔后的固定。

进一步，所述开合机构的旁侧设有平行于背板中心轴的铰接轴，所述开合机构的另一相对侧可沿所述铰接轴转动开合，所述锁紧机构包括开设于所述开合机构转动开合侧的槽孔、开设于所述本体上的滑槽以及设置于所述滑槽内的插销，所述滑槽与所述槽孔连通，所述插销可沿所述滑槽滑动并插入所述槽孔内。

进一步，所述开合机构的转动开合侧设有磁吸机构，所述磁吸机构用于将所述开合机构的转动开合侧与所述本体吸附在一起。

进一步，所述磁吸机构采用磁铁。

进一步，所述靶材取放器还包括顶靶螺丝，所述本体的中部开设有能够与所述背板上的水管孔配合对位的螺丝插入孔，所述螺丝插入孔的内壁设置内螺纹，所述顶靶螺丝的外壁上设置有与所述螺丝插入孔的内螺纹对应配合的外螺纹。

进一步，所述顶靶螺丝自上而下包括盘体、螺杆及顶头，所述盘体与所述螺杆的顶部固定连接，所述螺杆的底部与所述顶头可拆卸连接，所述螺杆上设置与所述螺丝插入孔的内螺纹配合的外螺纹，所述顶头的外径小于所述螺丝插入孔的内径。

进一步，所述顶头采用塑料材质制成。

进一步，所述盘体的外周侧设有防滑纹。

进一步，所述盘体的横截面为椭圆形。