[实用新型]一种槽式机台水槽节水装置有效
申请号: | 202222099054.0 | 申请日: | 2022-08-10 |
公开(公告)号: | CN218424392U | 公开(公告)日: | 2023-02-03 |
发明(设计)人: | 郭卫;申开愉;杨旭彪 | 申请(专利权)人: | 山西潞安太阳能科技有限责任公司 |
主分类号: | B08B3/02 | 分类号: | B08B3/02;B08B3/04;B08B3/08;B08B3/14 |
代理公司: | 太原市科瑞达专利代理有限公司 14101 | 代理人: | 耿联军 |
地址: | 046000 山西*** | 国省代码: | 山西;14 |
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摘要: | 本实用新型涉及硅片清洗领域,一种槽式机台水槽节水装置,包括锥形底的敞口的水槽1,所述水槽1内侧中上部安装有两层栅栏网,第一层栅栏网2上用于放置待清洗的硅片,第二层栅栏网3处于所述第一层栅栏网2下侧,第二层栅栏网3上安装有多个鼓泡装置4,所述水槽1口沿内侧安装有喷口朝向所述水槽1内部的喷淋装置5,所述第二层栅栏网3下侧的所述水槽1槽壁上有第一出水口7,所述第一层栅栏网2上侧的所述水槽1槽壁上有第二出水口6。本实用新型在满足清洗目的的同时能够节省纯净水。 | ||
搜索关键词: | 一种 机台 水槽 节水 装置 | ||
【主权项】:
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