[实用新型]一种槽式机台水槽节水装置

权利要求书

1.一种槽式机台水槽节水装置，其特征在于：包括锥形底的敞口的水槽（1），所述水槽（1）内侧中上部安装有两层栅栏网，第一层栅栏网（2）上用于放置待清洗的硅片，第二层栅栏网（3）处于所述第一层栅栏网（2）下侧，第二层栅栏网（3）上安装有多个鼓泡装置（4），所述水槽（1）口沿内侧安装有喷口朝向所述水槽（1）内部的喷淋装置（5），所述第二层栅栏网（3）下侧的所述水槽（1）槽壁上有第一出水口（7），所述第一层栅栏网（2）上侧的所述水槽（1）槽壁上有第二出水口（6），所述水槽（1）锥形底中心有第三出水口（8），第三出水口（8）通过第六阀门管道连接废水水箱，所述第二出水口（6）通过第一阀门管道连接第一储水箱，所述第二出水口（6）通过第二阀门管道连接废水水箱，所述第一出水口（7）通过第三阀门管道连接所述第一储水箱，所述第一出水口（7）通过第四阀门管道连接第二储水箱，所述喷淋装置（5）的进水口（10）通过第一水泵连接所述第一储水箱，所述喷淋装置（5）的进水口（10）通过第二水泵连接所述第二储水箱，所述喷淋装置（5）的进水口（10）通过第三水泵连接外界纯净水源。

2.根据权利要求1所述的一种槽式机台水槽节水装置，其特征在于：所述水槽（1）下部安装有支架（9），所述第一储水箱和所述第二储水箱的最高处低于第三出水口（8）。

3.根据权利要求1所述的一种槽式机台水槽节水装置，其特征在于：所述水槽（1）有多个。

4.根据权利要求1所述的一种槽式机台水槽节水装置，其特征在于：所述喷淋装置（5）为安装在所述水槽（1）口部内沿的环形管，环形管上间隔开有喷口，喷口朝向所述水槽（1）内部。

5.根据权利要求1所述的一种槽式机台水槽节水装置，其特征在于：鼓泡装置为高压气氦气出口，第二层栅栏网（3）上盘绕有高压气管，高压气管上有多个出口，每个出口为一个鼓泡装置，所述第一层栅栏网（2）和第一层栅栏网（2）之间的高度为2-5cm。