[实用新型]一种自动上下料的PVD镀膜装置

摘要

本实用新型公开了一种自动上下料的PVD镀膜装置，包括镀膜机主体和夹持组件，所述镀膜机主体的中部开设有真空室，且真空室的顶部内壁固定安装有限位挡板，用于对物料上下转运的夹持组件安装于限位挡板的前端，所述夹持组件包括连接块、电动伸缩杆、连接套筒、液压杆、伺服电机、辅助电控杆和柔性电动二指夹爪，所述连接块的前端转动安装有电动伸缩杆，且电动伸缩杆的末端连接有连接套筒，所述连接套筒的内壁固定安装有液压杆，且液压杆的左侧顶部固定安装有伺服电机。该自动上下料的PVD镀膜装置，采用多个组件之间的相互配合设置，不仅能够自动对物料进行转移，同时还能控制柜的位置进行自由控制，而且还能对真空室内部的工作状态进行观察。