[实用新型]一种药液供给设备有效
| 申请号： | 202222061875.5 | 申请日： | 2022-08-02 |
| 公开（公告）号： | CN217662617U | 公开（公告）日： | 2022-10-28 |
| 发明（设计）人： | 杨兆明;王东洁;曾文昌;中原司 | 申请（专利权）人： | 浙江芯晖装备技术有限公司 |
| 主分类号： | B01F23/40 | 分类号： | B01F23/40;B01F35/75 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 夏菁 |
| 地址： | 314499 浙江省嘉兴市海宁*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及半导体领域，特别是公开了一种药液供给设备，包括单个过滤柜、单个电控柜、单个气控柜、集成处理器及上药模块；所述上药模块分别与所述过滤柜、所述电控柜及所述气控柜相连；所述上药模块包括原液供给端、纯水供给端、多个配比供给组件及供给泵；所述原液供给端及所述纯水供给端与所述配比供给组件通过管道相连，所述配比供给组件通过所述供给泵输出配比好的药液；所述集成处理器分别与所述过滤柜、所述电控柜、所述气控柜及所述上药模块信号连接。本实用新型将多个配比供给组件整合到一台设备中，实现了不同的配比供给组件可以分别供给不同药液，大大降低了供给多种药液所需要的空间，进而降低了半导体器件的生产成本。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 药液 供给 设备 | ||
【主权项】：
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