[实用新型]一种光罩清洗机有效
申请号: | 202222037721.2 | 申请日: | 2022-08-03 |
公开(公告)号: | CN217700357U | 公开(公告)日: | 2022-11-01 |
发明(设计)人: | 陈斐;李新乐;刘伟峰;赖晓焘 | 申请(专利权)人: | 广州市蓝羽达电子设备有限公司 |
主分类号: | B08B3/02 | 分类号: | B08B3/02;B08B13/00;H01L21/67 |
代理公司: | 广州汇航专利代理事务所(普通合伙) 44537 | 代理人: | 潘婷 |
地址: | 510000 广东省广*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种光罩清洗机,包括减震座、清洗仓和清洗结构,所述减震座的顶端固定安装有储存箱,所述储存箱的顶端安装有清洗仓,所述清洗仓的内部安装有清洗结构,所述清洗仓的两侧安装有进水口,所述进水口的一端固定安装有雾化喷头。该光罩清洗机设置有滑槽、滑块、固定框、伺服电机和夹板,在对光罩进行清洗的过程中,第二弹簧能够推动夹板对不同规格的光罩进行固定工作,而伺服电机的设置能够对光罩进行翻转,以便于对光罩进行全方位的清理工作,同时第一弹簧能够通过滑块推动固定框进行弹出工作,从而便于对固定框内部的光罩进行固定和取出工作,避免在固定和取出的过程中粘接药剂,提高了该装置使用工作的便捷性和安全性。 | ||
搜索关键词: | 一种 清洗 | ||
【主权项】:
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