[实用新型]一种旋转装置及真空镀膜设备有效
| 申请号： | 202221989214.2 | 申请日： | 2022-07-28 |
| 公开（公告）号： | CN217839118U | 公开（公告）日： | 2022-11-18 |
| 发明（设计）人： | 陈韶华;程元;杨启忠;余海春;唐政 | 申请（专利权）人： | 光驰科技（上海）有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/50 | 分类号： | C23C14/50;C23C16/458 |
| 代理公司： | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人： | 陈宏 |
| 地址： | 200436 上海市宝山区*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种旋转装置及真空镀膜设备，属于真空镀膜技术领域。旋转装置设于腔体，腔体内设有挂架组件，挂架组件用于承载基板，旋转装置包括旋转组件，旋转组件的输出端用于与挂架组件对接，并驱动挂架组件旋转，使挂架组件转动以处于第一状态或第二状态，基板挂载在挂架组件上且处于第二状态时，基板面可进行镀膜。本实用新型的旋转装置及真空镀膜设备，提高基板在腔体内的灵活性，以满足生产需求。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 旋转 装置 真空镀膜 设备 | ||
【主权项】：
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