[实用新型]一种高温热炉有效
| 申请号： | 202221812139.2 | 申请日： | 2022-07-13 |
| 公开（公告）号： | CN217737891U | 公开（公告）日： | 2022-11-04 |
| 发明（设计）人： | 林佳继;庞爱锁;张武;郭永胜 | 申请（专利权）人： | 深圳市拉普拉斯能源技术有限公司 |
| 主分类号： | F27B17/00 | 分类号： | F27B17/00;F27D11/02;F27D5/00;F27D1/00 |
| 代理公司： | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人： | 潘登 |
| 地址： | 518122 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种高温热炉，该高温热炉包括炉体组件、加热炉丝和置物管，炉体组件的截面为方形，加热炉丝为单独控制的多组，多组加热炉丝沿炉体组件的长度方向间隔设置在炉体组件的内侧壁上，置物管设在炉体组件内。该高温热炉能够确保同一个硅片受热均匀，也能够确保位于高温热炉内不同位置的硅片的加热温度一致，从而较好地确保了硅片能够被均匀加热，提升了产品良率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 温热 | ||
【主权项】：
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