[实用新型]一种高温热炉

说明书

本实用新型公开了一种高温热炉，该高温热炉包括炉体组件、加热炉丝和置物管，炉体组件的截面为方形，加热炉丝为单独控制的多组，多组加热炉丝沿炉体组件的长度方向间隔设置在炉体组件的内侧壁上，置物管设在炉体组件内。该高温热炉能够确保同一个硅片受热均匀，也能够确保位于高温热炉内不同位置的硅片的加热温度一致，从而较好地确保了硅片能够被均匀加热，提升了产品良率。

技术领域

本实用新型涉及硅片加工装置技术领域，尤其涉及一种高温热炉。

背景技术

现有的硅片一般形成为方形，而目前的高温热炉的炉体多为圆柱体，当方形的硅片放入炉体后就会出现硅片的上下表面与炉体内侧壁的加热炉丝的距离不相等的现象，从而导致硅片加热不均的现象。并且在实际加热过程中，炉体中部的位置具有更高的温度，这样就会造成位于炉体中部的硅片的加热温度较高，位于炉体两端的硅片的加热温度较低的现象发生，从而进一步加剧了硅片加热不均的现象。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提出一种高温热炉，该高温热炉能够确保同一片硅片受热均匀，也能够确保位于高温热炉内不同位置的硅片的加热温度一致，从而较好地确保了硅片能够被均匀加热，提升了产品良率。

为实现上述技术效果，本实用新型的技术方案如下：

本实用新型公开了一种高温热炉，包括：炉体组件，所述炉体组件的截面为方形；加热炉丝，所述加热炉丝为单独控制的多组，多组所述加热炉丝沿所述炉体组件的长度方向间隔设置在所述炉体组件的内侧壁上；置物管，所述置物管设在所述炉体组件内。

在一些实施例中，所述炉体组件的内侧壁上设有多组配合槽，多组配合槽沿所述炉体组件的长度方向间隔设置；和/或者多组所述配合槽沿与所述炉体组件的长度方向垂直的方向间隔设置；其中：

每组所述配合槽内配合有一组所述加热炉丝，同一组内的多个所述加热炉丝依次串联。

在一些具体的实施例中，每组所述配合槽设置在所述炉体组件的上侧壁、下侧壁、左侧壁和右侧壁中的至少一个上。

在一些实施例中，所述炉体组件包括炉体、前端板和后端板，所述前端板和所述后端板分别配合在所述炉体沿其长度方向的两端，所述前端板上设有配合孔，所述置物管的一端出所述配合孔。

在一些具体的实施例中，所述炉体包括炉本体和保护板，所述保护板包覆在所述炉本体上。

在一些具体的实施例中，所述保护板包括上护板和下护板，所述上护板和所述下护板均为U型板，所述上护板和所述下护板分别扣合在所述炉本体的上部和下部。

在一些更具体的实施例中，所述炉本体上设有沿其长度方向间隔设置的多个第一安装孔，所述上护板上设有第一压边，所述第一压边上设与所述第一安装孔对应的第二安装孔，所述下护板上设有第二压边，所述第二压边上设有与所述第二安装孔对应的第三安装孔，所述第一压边贴合在所述炉本体的侧壁上，所述第二压边贴合在所述第一压边上；其中：

所述上护板、所述下护板以及所述炉本体通过穿设在所述第一安装孔、第二安装孔以及第三安装孔的安装件配合。

在一些具体的实施例中，所述后端板包括板本体和罩设在所述板本体上的保护罩。

在一些实施例中，所述炉体组件的外侧壁上设有多个间隔设置的绝缘引线座，多个所述绝缘引线座成对设置，成对设置的所述绝缘引线座用于与一组所述加热炉丝的引出线配合。

在一些具体的实施例中，成对设置的所述绝缘引线座设在所述炉体组件的同一个外侧壁上。