[实用新型]一种晶圆磨削装置有效
| 申请号： | 202221214959.1 | 申请日： | 2022-05-18 |
| 公开（公告）号： | CN217513573U | 公开（公告）日： | 2022-09-30 |
| 发明（设计）人： | 孙大海;钱少杰 | 申请（专利权）人： | 苏州海杰兴科技股份有限公司 |
| 主分类号： | B24B19/00 | 分类号： | B24B19/00;B24B41/06;B24B57/02;B24B57/04 |
| 代理公司： | 苏州三英知识产权代理有限公司 32412 | 代理人： | 周仁青 |
| 地址： | 215000 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及晶圆加工领域，尤其涉及一种晶圆磨削装置。所述晶圆磨削装置包括工作台、打磨组件、固定机构抛光液组件和搅拌机构，用于打磨晶圆的所述打磨组件固定安装于工作台上，用于固定工件的两个所述固定机构滑动连接在工作台上。用于储存喷洒抛光液的所述抛光液组件固定安装在工作台下方，用于使得抛光液保持质地均匀的搅拌机构固定安装在抛光液组件和工作台上。本实用新型可以从两侧和上方同时对晶圆工件进行固定，固定过程快速简便，且固定效果好，且设置抛光液组件在晶圆工件磨削时进行润滑，便于对晶圆工件进行加工，提升磨削的质量。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 磨削 装置 | ||
【主权项】：
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