[实用新型]一种晶圆磨削装置

说明书

本实用新型涉及晶圆加工领域，尤其涉及一种晶圆磨削装置。所述晶圆磨削装置包括工作台、打磨组件、固定机构抛光液组件和搅拌机构，用于打磨晶圆的所述打磨组件固定安装于工作台上，用于固定工件的两个所述固定机构滑动连接在工作台上。用于储存喷洒抛光液的所述抛光液组件固定安装在工作台下方，用于使得抛光液保持质地均匀的搅拌机构固定安装在抛光液组件和工作台上。本实用新型可以从两侧和上方同时对晶圆工件进行固定，固定过程快速简便，且固定效果好，且设置抛光液组件在晶圆工件磨削时进行润滑，便于对晶圆工件进行加工，提升磨削的质量。

技术领域

本实用新型涉及晶圆加工领域，尤其涉及一种晶圆磨削装置。

背景技术

晶圆是指制作硅半导体电路所用的硅晶片，其原始材料是硅。高纯度的多晶硅溶解后掺入硅晶体晶种，然后慢慢拉出，形成圆柱形的单晶硅。

晶圆磨削装置在进行加工时，需要将晶圆工件固定在工作台上，以便于后续的磨削加工，现有的晶圆磨削装置在对晶圆进行固定时，过程较为繁琐，且固定效果一般，提升了工作人员的劳动强度。

因此，有必要提供一种新的晶圆磨削装置解决上述技术问题。

实用新型内容

为解决上述技术问题，本实用新型提供一种固定过程快速简便、磨削稳定质量高的晶圆磨削装置。

本实用新型提供的晶圆磨削装置包括：工作台、打磨组件、固定机构抛光液组件和搅拌机构，用于打磨晶圆的所述打磨组件固定安装于工作台上固定机构设有两个，且用于固定工件的两个所述固定机构滑动连接在工作台上，用于储存喷洒抛光液的所述抛光液组件固定安装在工作台下方，用于使得抛光液保持质地均匀的搅拌机构固定安装在抛光液组件和工作台上

优选的，所述打磨组件包括支撑架、液压缸、安装板、驱动电机和打磨轮，所述支撑架固定安装于工作台的上方，且支撑架上固定连接有若干个液压缸，若干所述液压缸的活塞端固定安装有安装板，所述安装板的上表面固定安装有驱动电机，所述驱动电机的输出端向下穿过安装板固定连接有打磨轮。

优选的，所述固定机构包括夹持组件、压紧组件和限位组件，所述夹持组件滑动安装于工作台开设的水平滑槽上，所述压紧组件固定安装于夹持组件上，所述限位组件设置于夹持组件上。

优选的，所述夹持组件包括承载板、支撑板、螺纹杆、旋钮、螺纹套、第一压板和滑块，所述承载板滑动安装于工作台开设的水平滑槽上，且承载板上固定连接有支撑板，所述支撑板内部通过轴承转动连接有螺纹杆，所述螺纹杆一端固定连接有旋钮，螺纹杆另一端螺纹连接有螺纹套，所述螺纹套远离螺纹杆的一侧固定连接有第一压板，且螺纹套底端固定连接有滑块，所述滑块与承载板开设的限位槽滑动连接。

优选的，所述压紧组件包括第一齿轮、第一齿条板、横板、第一弹簧和第二压板，所述第一齿轮套设在螺纹杆上，所述第一齿条板滑动安装于支撑板开设在滑槽内，且第一齿条板与第一齿轮啮合，所述横板穿过支撑板开设在滑槽与第一齿条板侧壁固定连接，且横板底端固定连接有第一弹簧，所述第一弹簧的底端固定连接有第二压板。

优选的，所述限位组件包括梯形板、连接板、第二弹簧、滑轮和限位杆，所述梯形板固定安装于滑块的底端，所述连接板设置于承载板开设的与限位槽贯通的空腔内，且连接板底端固定连接有第二弹簧，所述第二弹簧与承载板固定连接，连接板顶端铰接有滑轮，两个所述限位杆固定安装于连接板的底端，且两个限位杆一端插设在承载板开设的通孔中，所述工作台表面开设有若干个限位通孔，所述限位杆与限位通孔滑动配合。

优选的，所述梯形板靠近滑轮的一侧开设有滑槽，所述滑轮与滑槽滑动配合。