[实用新型]电极结构和电化学沉积设备有效
| 申请号： | 202221167836.7 | 申请日： | 2022-05-16 |
| 公开（公告）号： | CN218321729U | 公开（公告）日： | 2023-01-17 |
| 发明（设计）人： | 张国才;孙少东;王成飞;刘英伟;裴光辉;井丽娜;齐琪 | 申请（专利权）人： | 京东方科技集团股份有限公司 |
| 主分类号： | C25D17/10 | 分类号： | C25D17/10;C25D17/00 |
| 代理公司： | 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 | 代理人： | 魏艳新;姜春咸 |
| 地址： | 100015 *** | 国省代码： | 北京;11 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本公开提供一种用于电化学沉积设备中的电极结构，包括导电部，所述导电部包括：第一电极；第二电极，环绕所述第一电极设置，且与所述第一电极相互绝缘；其中，所述第一电极和所述第二电极被配置为连接不同的电源端，且所述第二电极上的电流密度小于所述第一电极上的电流密度。本公开还提供一种电化学沉积设备。 | ||
| 搜索关键词： | 电极 结构 电化学 沉积 设备 | ||
【主权项】：
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