[实用新型]一种多工位硅片光刻机有效
| 申请号： | 202221125625.7 | 申请日： | 2022-05-13 |
| 公开（公告）号： | CN217425924U | 公开（公告）日： | 2022-09-13 |
| 发明（设计）人： | 秦有贵;辛奇;胡凯;徐峰;杨军;闫乐成;秦宝宏 | 申请（专利权）人： | 上海芯立电子科技有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;H01L21/687 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 201314 上海市浦*** | 国省代码： | 上海;31 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本实用新型公开了一种多工位硅片光刻机，涉及到光刻机领域，包括固定架，所述固定架的两侧对称固定安装有两个电机，两个所述电机之间固定安装有固定座，所述固定座的周侧均布固定安装有六个气缸，六个所述气缸的周侧固定安装有导向架，所述气缸输出端的周侧固定安装有限位块，所述限位块的一侧滑动配合设置有限位板。本实用新型通过电机的装设可以带动夹持板进行转动，使得被夹持板夹紧的晶圆可以进行自动转动，使得刻蚀机能自动对下一片晶圆进行刻蚀，减少了由于夹取晶圆片造成的时间浪费，气缸的装设可以带动夹持板滑动，使得两个夹持板能够相互靠近，使得该光刻机能对不同直径的晶圆进行夹紧。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 多工位 硅片 光刻 | ||
【主权项】：
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