[实用新型]用于真空镀膜机的热蒸发机构有效
| 申请号： | 202220923983.6 | 申请日： | 2022-04-20 |
| 公开（公告）号： | CN217127519U | 公开（公告）日： | 2022-08-05 |
| 发明（设计）人： | 张磊;张国桥 | 申请（专利权）人： | 河北科能新材料有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/26 | 分类号： | C23C14/26 |
| 代理公司： | 河北国维致远知识产权代理有限公司 13137 | 代理人： | 王诗琪 |
| 地址： | 062350 河北省沧*** | 国省代码： | 河北;13 |
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| 摘要： | 本实用新型提供了一种用于真空镀膜机的热蒸发机构，包括正极单元、负极单元以及蒸发舟；正极单元设有多个，各正极单元平行且间隔设置；设定各正极单元的间隔方向为第一方向，与第一方向垂直的水平方向为第二方向；每个正极单元上均具有第一搭接平台；负极单元上具有第二搭接平台，第二搭接平台沿着第一方向设置，且沿着第二方向与各第一搭接平台间隔设置；蒸发舟设有多个，各蒸发舟与各正极单元一一对应设置，每个蒸发舟均位于在对应的正极单元及负极单元之间，且两端分别搭设在对应的第一搭接平台及第二搭接平台上。本实用新型提供的用于真空镀膜机的热蒸发机构可在一定程度上提高蒸发舟更换的效率，降低劳动力，其结构简单，实用性强。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 真空镀膜 蒸发 机构 | ||
【主权项】：
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