[实用新型]工装篮及应用该工装篮的脱胶装置有效
申请号: | 202220852250.8 | 申请日: | 2022-04-14 |
公开(公告)号: | CN217094876U | 公开(公告)日: | 2022-08-02 |
发明(设计)人: | 李玮渊;张洪军;丁海军;邢旭 | 申请(专利权)人: | 乐山高测新能源科技有限公司 |
主分类号: | B08B11/00 | 分类号: | B08B11/00;B08B13/00;B08B3/02;B08B5/02;H01L31/18 |
代理公司: | 北京科慧致远知识产权代理有限公司 11739 | 代理人: | 宋珊珊;李瑞 |
地址: | 614000 四川省乐山市五*** | 国省代码: | 四川;51 |
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摘要: | 本申请实施例提供一种工装篮及应用该工装篮的脱胶装置,其中,工装篮包括:工装架;侧挡组件,设置于所述工装架的两侧;侧挡组件与工装架围成用于容纳硅片的容纳空间;夹板组件,转动设置于所述侧挡组件上;所述夹板组件在初始状态下处于夹紧硅片的第一位置,当受到脱胶装置中触发板施力时相对于侧挡组件转动至松开硅片的第二位置。本申请实施例提供一种工装篮能够适应脱胶装置,自动对硅片进行夹持和松开,配合分片。 | ||
搜索关键词: | 工装 应用 脱胶 装置 | ||
【主权项】:
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