[实用新型]一种控温式四氯化硅汽化系统装置有效
| 申请号： | 202220834975.4 | 申请日： | 2022-04-12 |
| 公开（公告）号： | CN217120224U | 公开（公告）日： | 2022-08-05 |
| 发明（设计）人： | 杨宁宁;廖健淞;范磊;郭威;李钧;黄艳萍;刘中才;杨淋;谭海龙 | 申请（专利权）人： | 拓米（成都）应用技术研究院有限公司 |
| 主分类号： | B01J19/00 | 分类号： | B01J19/00;B01J4/00;F28D21/00;F28F27/02;C01B33/107 |
| 代理公司： | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人： | 王艳斋 |
| 地址： | 611730 四川省成都市郫都区德*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本实用新型提供了一种控温式四氯化硅汽化系统装置，所述控温式四氯化硅汽化系统装置包括汽化炉以及与所述汽化炉连接的控温单元，所述汽化炉包括炉体以及所述炉体的顶端的炉盖，所述炉体的周向设置有换热区，所述换热区的外周包裹有保温层，所述炉盖上设置有防爆型测温器件，所述防爆型测温器件检测所述汽化炉内部的温度，所述控温单元分别与所述防爆型测温器件和所述换热区电性连接，所述防爆型测温器件将温度信号输送至所述控温单元，所述控温单元调控所述换热区的温度，从而调控所述炉体内四氯化硅的汽化过程。本实用新型能够有效调控四氯化硅汽化过程中的加热温度，从而实现对四氯化硅气体进入反应阶段的流量调控。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 控温式四 氯化 汽化 系统 装置 | ||
【主权项】：
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