[实用新型]一种控温式四氯化硅汽化系统装置

权利要求书

1.一种控温式四氯化硅汽化系统装置，其特征在于，所述控温式四氯化硅汽化系统装置包括汽化炉以及与所述汽化炉连接的控温单元，所述汽化炉包括炉体(1)以及所述炉体(1)的顶端的炉盖(2)，所述炉体(1)的周向设置有换热区，所述换热区的外周包裹有保温层(3)，所述炉盖(2)上设置有防爆型测温器件，所述防爆型测温器件检测所述汽化炉内部的温度，所述控温单元分别与所述防爆型测温器件和所述换热区电性连接，所述防爆型测温器件将温度信号输送至所述控温单元，所述控温单元调控所述换热区的温度，从而调控所述炉体(1)内四氯化硅的汽化过程。

2.根据权利要求1所述的控温式四氯化硅汽化系统装置，其特征在于，所述炉体(1)的周向设置有换热介质流动层(4)，所述换热介质流动层(4)形成所述换热区，所述换热介质流动层(4)的底端开设有换热介质进口，所述换热介质流动层(4)的顶端开设有换热介质出口；或

所述炉体(1)的周向缠绕有换热介质盘管，所述换热介质盘管形成所述换热区，所述换热介质盘管的入口靠近所述炉体(1)的底部设置，所述换热介质盘管的出口靠近所述炉体(1)的顶部设置。

3.根据权利要求2所述的控温式四氯化硅汽化系统装置，其特征在于，所述控温单元包括控制装置，所述控制装置的两端分别与所述防爆型测温器件和换热介质温度调节装置(5)电性连接，所述控制装置接收并分析所述防爆型测温器件的温度信号，随后调控所述换热介质温度调节装置(5)对换热介质的温度进行调节；

所述换热介质温度调节装置(5)的出口通过进料管道与所述换热介质流动层(4)的换热介质进口或所述换热介质盘管的入口连接，所述换热介质温度调节装置(5)的进口通过回流管道与所述换热介质流动层(4)的换热介质出口或所述换热介质盘管的出口连接，从而实现换热介质的循环流动。

4.根据权利要求3所述的控温式四氯化硅汽化系统装置，其特征在于，所述进料管道和所述回流管道上均设置有阀件。

5.根据权利要求1所述的控温式四氯化硅汽化系统装置，其特征在于，所述炉体(1)的周向设置有中间层，所述中间层形成所述换热区，所述中间层内部底端设置有电加热棒，所述中间层内填充有换热介质，所述电加热棒浸没于所述换热介质中；

所述中间层内部还设置有冷却液盘管，所述冷却液盘管浸没于所述换热介质中，冷却液循环通过所述冷却液盘管，对所述换热介质进行冷却。

6.根据权利要求5所述的控温式四氯化硅汽化系统装置，其特征在于，所述控温单元包括控制装置，所述控制装置的两端分别与所述防爆型测温器件和加热电源连接，所述加热电源通过电极与所述电加热棒连接，所述控制装置接收并分析所述防爆型测温器件的温度信号，随后调控所述加热电源对换热介质的温度进行调节。

7.根据权利要求1所述的控温式四氯化硅汽化系统装置，其特征在于，所述炉盖(2)上开设有加料口(6)和出气口(7)，所述加料口(6)用于将四氯化硅液体加入所述炉体(1)内，或将惰性气体通入所述炉体(1)内，将汽化得到的四氯化硅气体通过出气口(7)带出炉体(1)。

8.根据权利要求7所述控温式四氯化硅汽化系统装置，其特征在于，所述加料口(6)的连接管道上，以及所述出气口(7)的连接管道上均设置有阀件。

9.根据权利要求1所述的控温式四氯化硅汽化系统装置，其特征在于，所述炉盖(2)上还设置有观察窗(8)。

10.根据权利要求1所述的控温式四氯化硅汽化系统装置，其特征在于，所述炉体(1)的底部开设有排空孔(9)，所述排空孔(9)贯穿所述换热区和所述保温层(3)。