[实用新型]一种蓝宝石晶圆自动铲片设备有效
申请号: | 202220827514.4 | 申请日: | 2022-04-11 |
公开(公告)号: | CN217123604U | 公开(公告)日: | 2022-08-05 |
发明(设计)人: | 孙涛涛;吴拓 | 申请(专利权)人: | 三河市益盈鼎裕科技有限公司 |
主分类号: | B28D5/00 | 分类号: | B28D5/00 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 065200 河北省廊坊市三河市燕郊开*** | 国省代码: | 河北;13 |
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摘要: | 本实用新型提供了一种蓝宝石晶圆自动铲片设备,包括操作室,操作室内部划分有陶瓷盘放置区、机械搬运区和自动铲片区,陶瓷盘放置区上设有放置机构,机械搬运区上设有搬运机器人,自动铲片区上设有铲片装置,放置机构包括有放置架,放置架底部连接设置有移动小车,移动小车底部设置有行走机构,放置架上划分有陶瓷盘料物放置区,铲片装置包括有支撑架,支撑架上设有操作台,操作台上设有铲片机构,铲片机构一侧设有晶圆收集机构,晶圆收集机构一侧设有卡塞移裁机构,铲片机构远离晶圆收集机构一侧设有定心找原点机构,本实用新型设计一体化流水作业,机械化代替人工,大大的节省人工劳动强度、提高铲片作业效率,使搬运、铲片、收集一体化完成。 | ||
搜索关键词: | 一种 蓝宝石 自动 设备 | ||
【主权项】:
暂无信息
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