[实用新型]高效单晶炉用上炉室有效
| 申请号： | 202220785511.9 | 申请日： | 2022-04-02 |
| 公开（公告）号： | CN218059286U | 公开（公告）日： | 2022-12-16 |
| 发明（设计）人： | 许建枫 | 申请（专利权）人： | 浙江昱力机电科技有限公司 |
| 主分类号： | C30B15/00 | 分类号： | C30B15/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 312300 浙江省绍兴*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种高效单晶炉用上炉室，涉及单晶生长设备，旨在解决在法兰结构和双层筒状结构的连接处，容易在压力作用下发生形变，造成密封不牢而出现漏水的情况，影响单晶炉的使用的问题，其技术方案要点是：包括呈双层结构的筒体，筒体内设有用于容纳冷却介质流动的隔腔,筒体的两端分别固定连接有连接法兰，连接法兰与筒体的连接处设有密封结构。本实用新型在螺旋流道的基础上，增加冷却介质流动路径的长度，在冷却液流经时，充分带走积累的热量，消除热量堆积而产生的热应力，设置复投进水口和复投出水口，能通过外部连接的管路结构实现冷却介质的复投循环，提高冷却的效率，消除热应力的积蓄。 | ||
| 搜索关键词： | 高效 单晶炉 用上 | ||
【主权项】：
暂无信息
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