[实用新型]高效单晶炉用上炉室

权利要求书

1.一种高效单晶炉用上炉室，其特征在于：包括呈双层结构的筒体(1)，所述筒体(1)内设有用于容纳冷却介质流动的隔腔(2),所述筒体(1)的两端分别固定连接有连接法兰(3)，所述连接法兰(3)与筒体(1)的连接处设有密封结构(4)，所述密封结构(4)与连接法兰(3)的端面以及筒体(1)固定连接用于提供消除筒体(1)受热应力产生的作用力。

2.根据权利要求1所述的高效单晶炉用上炉室，其特征在于：所述筒体(1)包括内筒(5)以及套设在内筒(5)外的外筒(6)，所述内筒(5)的外周壁上固定连接有呈螺旋结构的隔水片(7)，所述隔水片(7)与外筒(6)的内周壁贴合。

3.根据权利要求2所述的高效单晶炉用上炉室，其特征在于：所述内筒(5)的外周壁上固定连接有沿冷却介质流动方向倾斜设置的挡水条(8)，若干挡水条(8)分别间隔设置在隔水片(7)的两侧，用以于隔腔(2)内形成呈螺旋曲折的冷却流道。

4.根据权利要求2所述的高效单晶炉用上炉室，其特征在于：所述连接法兰(3)上开设有与隔腔(2)连通的环形槽(9)，位于所述筒体(1)顶端的所述连接法兰(3)上开设有位于外周壁且与环形槽(9)连通的复投进水口(10)和复投出水口(11)，位于所述筒体(1)底端的所述连接法兰(3)上开设有下法兰进水口(12)和防爆口(13)。

5.根据权利要求4所述的高效单晶炉用上炉室，其特征在于：所述密封结构(4)包括连接法兰(3)内周壁上形成抵于内筒(5)外周壁的限位部(14)以及位于外筒(6)与连接法兰(3)之间的衔接结构。

6.根据权利要求5所述的高效单晶炉用上炉室，其特征在于：所述衔接结构包括开设于连接法兰(3)和外筒(6)上的衔接槽以及嵌于两衔接槽内的衔接件(15)，所述衔接件(15)呈环状结构且套设于外筒(6)外，所述衔接件(15)的内表面贴于连接法兰(3)以及外筒(6)的表面。

7.根据权利要求6所述的高效单晶炉用上炉室，其特征在于：所述连接法兰(3)的端面于外筒(6)端部的抵接处设置呈钝角的衔接处，所述衔接件(15)包括贴于衔接处的梯形部以及位于梯形部两腰边与外筒(6)以及连接法兰(3)卡接的嵌部。

8.根据权利要求6所述的高效单晶炉用上炉室，其特征在于：所述筒体(1)采用316L不锈钢材质一体制成，所述衔接件(15)上开设有断口，所述衔接件(15)的端面通过超声波焊接呈封闭环状结构。