[实用新型]一种晶圆片试验用环境系统有效
| 申请号： | 202220765702.9 | 申请日： | 2022-04-05 |
| 公开（公告）号： | CN217006234U | 公开（公告）日： | 2022-07-19 |
| 发明（设计）人： | 孙晓恺;陆兆韦 | 申请（专利权）人： | 苏州中科科美科技有限公司 |
| 主分类号： | G01M3/20 | 分类号： | G01M3/20 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 215000 江苏省苏州市*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本申请公开了一种晶圆片试验用环境系统，其技术要点在于，包括：试验操作腔、2个样品存储腔、加热罩、真空管路系统、洁净管路系统；所述试验操作腔用于放置机械臂；所述样品存储腔用于放置晶圆片；所述2个样品存储腔设置在所述试验操作腔的两侧，且所述试验操作腔与所述样品存储腔连通；所述试验操作腔以及2个所述样品存储腔的外表面均包裹有所述加热罩。采用本申请的一种晶圆片试验用环境系统，能够为晶圆片进行科学试验提供环境支持。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 晶圆片 试验 环境系统 | ||
【主权项】：
暂无信息
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