[实用新型]等离子处理设备有效
| 申请号： | 202220753983.6 | 申请日： | 2022-03-31 |
| 公开（公告）号： | CN218414478U | 公开（公告）日： | 2023-01-31 |
| 发明（设计）人： | 吴楚辉;王仲培 | 申请（专利权）人： | 富联裕展科技（深圳）有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32 |
| 代理公司： | 深圳市赛恩倍吉知识产权代理有限公司 44334 | 代理人： | 袁建设 |
| 地址： | 518109 广东省深圳市龙华区龙华街道富康社区东环二路2号富士康H5厂房101、观澜街*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本申请公开了一种等离子处理设备，包括：机架、真空腔体及射频电源，真空腔体设置于机架上，真空腔体内设置有多个承载件，承载件为金属网格结构，承载件用于承载待处理产品；射频电源设置于机架上，用于激发真空腔内产生等离子体以除去待处理产品表面的膜层。该等离子处理设备通过金属网格结构的承载件承载产品，当真空腔体内被射频电源激发产生等离子体时，可增加感应耦合率，减少鞘层，有效提升等离子均匀性，提升残留物处理效率和产品良率。 | ||
| 搜索关键词： | 等离子 处理 设备 | ||
【主权项】：
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