[实用新型]一种固态沉积装置及固态沉积系统有效
| 申请号： | 202220735778.7 | 申请日： | 2022-03-30 |
| 公开（公告）号： | CN216972685U | 公开（公告）日： | 2022-07-15 |
| 发明（设计）人： | 谢迎春;王高民;张科杰;黄仁忠;邓春明 | 申请（专利权）人： | 广东省科学院新材料研究所 |
| 主分类号： | C23C24/04 | 分类号： | C23C24/04;G05D23/20 |
| 代理公司： | 北京超凡宏宇专利代理事务所(特殊普通合伙) 11463 | 代理人： | 姚大雷 |
| 地址： | 510650 广*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种固态沉积装置及固态沉积系统，涉及冷喷涂技术领域。固态沉积装置包括机械手、固态沉积机构和用于对待喷涂基材进行温度检测的温度检测机构和用于对待喷涂基材进行预热的电磁感应加热器，电磁感应加热器、温度检测机构和固态沉积机构的喷嘴均安装于机械手上，以使三者联动并具有相同的移动轨迹和速度；其中，温度检测机构安装于固态沉积机构的喷嘴和电磁感应加热器之间。采用本实用新型提供的固体沉积装置能够对金属固态沉积过程中对基体温度进行实时控制，利用电磁感应的加热方式避免了激光辅助预热所面临的问题，有利于沉积得到界面结合强度很高的涂层。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 固态 沉积 装置 系统 | ||
【主权项】：
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