[实用新型]一种镜面在线洁净处理装置有效
| 申请号: | 202220709072.3 | 申请日: | 2022-03-29 |
| 公开(公告)号: | CN216988758U | 公开(公告)日: | 2022-07-19 |
| 发明(设计)人: | 谢秀芳;刘军;李春领;张绍武;柳丽卿;万敏;吴建平;姜淞元;耶军;陈刚 | 申请(专利权)人: | 中国工程物理研究院应用电子学研究所 |
| 主分类号: | B08B1/00 | 分类号: | B08B1/00;B08B13/00 |
| 代理公司: | 北京同辉知识产权代理事务所(普通合伙) 11357 | 代理人: | 于晶晶 |
| 地址: | 621900 四川省绵阳市*** | 国省代码: | 四川;51 |
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| 摘要: | 本实用新型涉及一种镜面在线洁净处理装置,包括镜架、风刀和壳体,所述镜架上开设用于安装光学镜的安装孔,且壳体套设于镜架的外围,所述风刀与气源连通,且风刀固设于固定组件上,所述固定组件与壳体之间设有用于调节风刀刀口方向的调节组件,本实用新型通过风刀在线去除光学镜镜面的污染物,避免开启光学镜放置舱体及人员引入污染的问题,提高了光学镜镜面的损伤阈值及激光器装置的安全性。 | ||
| 搜索关键词: | 一种 在线 洁净 处理 装置 | ||
【主权项】:
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