[实用新型]一种镜面在线洁净处理装置有效

专利信息
申请号: 202220709072.3 申请日: 2022-03-29
公开(公告)号: CN216988758U 公开(公告)日: 2022-07-19
发明(设计)人: 谢秀芳;刘军;李春领;张绍武;柳丽卿;万敏;吴建平;姜淞元;耶军;陈刚 申请(专利权)人: 中国工程物理研究院应用电子学研究所
主分类号: B08B1/00 分类号: B08B1/00;B08B13/00
代理公司: 北京同辉知识产权代理事务所(普通合伙) 11357 代理人: 于晶晶
地址: 621900 四川省绵阳市*** 国省代码: 四川;51
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摘要: 实用新型涉及一种镜面在线洁净处理装置,包括镜架、风刀和壳体,所述镜架上开设用于安装光学镜的安装孔,且壳体套设于镜架的外围,所述风刀与气源连通,且风刀固设于固定组件上,所述固定组件与壳体之间设有用于调节风刀刀口方向的调节组件,本实用新型通过风刀在线去除光学镜镜面的污染物,避免开启光学镜放置舱体及人员引入污染的问题,提高了光学镜镜面的损伤阈值及激光器装置的安全性。
搜索关键词: 一种 在线 洁净 处理 装置
【主权项】:
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