[实用新型]一种镜面在线洁净处理装置

说明书

本实用新型涉及一种镜面在线洁净处理装置，包括镜架、风刀和壳体，所述镜架上开设用于安装光学镜的安装孔，且壳体套设于镜架的外围，所述风刀与气源连通，且风刀固设于固定组件上，所述固定组件与壳体之间设有用于调节风刀刀口方向的调节组件，本实用新型通过风刀在线去除光学镜镜面的污染物，避免开启光学镜放置舱体及人员引入污染的问题，提高了光学镜镜面的损伤阈值及激光器装置的安全性。

技术领域

本实用新型属于光学元件洁净处理技术领域，具体地说涉及一种镜面在线洁净处理装置。

背景技术

光学镜属于激光器装置的重要器件，主要的作用是激光振荡及激光光束传输。在激光器工作过程中，若光学镜面有颗粒污染，颗粒污染将吸收激光能量产生局部高温，从而诱导激光损伤镜面，导致激光装置性能下降甚至不能工作。

目前，光学镜面颗粒污染大多采用人工擦拭进行洁净处理。但是，激光器装置的光学镜通常在密闭性较好的舱体内，镜面检查和洁净处理需开启舱体逐一开展检查和擦拭。同时，随着激光器装置功率密度提升，对镜面洁净控制提出了更高的要求，此外，随着系统光路布局更为复杂，结构紧凑，光学镜洁净处理操作复杂，效率低，实现方式困难。

实用新型内容

针对现有技术的种种不足，为了解决上述问题，现提出一种镜面在线洁净处理装置。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：

一种镜面在线洁净处理装置，包括镜架、风刀和壳体，所述镜架上开设用于安装光学镜的安装孔，且壳体套设于镜架的外围，所述风刀与气源连通，且风刀固设于固定组件上，所述固定组件与壳体之间设有用于调节风刀刀口方向的调节组件。

进一步，所述固定组件包括第一固定板和第二固定板，且第一固定板、第二固定板分别位于风刀的不同侧。

进一步，所述第一固定板和第二固定板的夹角为60°-120°。

进一步，所述第一固定板和第二固定板的夹角为80°-100°。

进一步，所述第一固定板上开设固定孔，所述第二固定板上开设球窝孔。

进一步，所述固定孔内设有固定螺栓，用于连接第一固定板和风刀。

进一步，所述球窝孔内设有球头螺钉，所述壳体上开设用于容纳球头螺钉的条形孔。

进一步，所述条形孔的延伸方向与风刀的长度方向相垂直。

进一步，所述壳体上设有调节孔，所述调节孔内设有调节螺栓，且调节螺栓的末端与第二固定板相抵。

进一步，所述调节螺栓上设有调节螺母，通过调整调节螺栓拧入调节孔的长度，调节风刀刀口与光学镜镜面的间距及角度，并过调节螺母锁定。

进一步，所述镜架上设有收集箱，所述收集箱通过连接管路与外围排放设备连通。

本实用新型的有益效果是：

1、通过风刀在线去除光学镜镜面的污染物，避免开启光学镜放置舱体及人员引入污染的问题，提高了光学镜镜面的损伤阈值及激光器装置的安全性。

2、通过调节组件调整风刀刀口与光学镜镜面的间距、角度，调节风刀风幕对光学镜镜面的覆盖范围和受力角度，实现不同放置角度、不同尺度的光学镜镜面洁净处理。

3、光学镜安装于镜架上，保证了光学镜镜面与镜架的相对位置，提高污染物去除率。

4、通过收集箱收集去除的污染物，避免二次扬尘导致光学镜镜面二次污染的问题，同时，外围排放设备通过负压抽吸方式实现收集污染物排散处理。

附图说明

图1是本实用新型的整体结构示意图；