[实用新型]缓冲下压装置有效
| 申请号： | 202220698906.5 | 申请日： | 2022-03-28 |
| 公开（公告）号： | CN217069713U | 公开（公告）日： | 2022-07-29 |
| 发明（设计）人： | 刘利波;任志鹏;何选民 | 申请（专利权）人： | 深圳市标谱半导体科技有限公司 |
| 主分类号： | B07C5/02 | 分类号： | B07C5/02;B07C5/34;B07C5/36 |
| 代理公司： | 深圳中一联合知识产权代理有限公司 44414 | 代理人： | 许烁 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市宝安区航城街道三围社区*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本申请属于半导体设备技术领域，尤其涉及一种缓冲下压装置，缓冲下压装置包括：驱动组件；下压头组件，用于接触所述工件；缓冲组件，连接于所述下压头组件并用于缓冲所述工件对所述下压头组件产生的反作用力；传动组件，连接于所述缓冲组件，所述传动组件用于将所述驱动组件的作用力传递至所述缓冲组件和所述下压头组件，并用于复位所述缓冲组件和所述下压头组件。本申请提供的缓冲下压装置，能够利用传动组件和缓冲组件的配合，解决现有技术中存在的下压测试过程中容易对工件(芯片)造成损伤的问题，能够在保证工件高效进行下压测试的前提下，防止工件被损伤，提高工件的生产良率，降低生产成本。 | ||
| 搜索关键词： | 缓冲 下压 装置 | ||
【主权项】：
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