[实用新型]用于质谱仪器的多路比例进气装置

摘要

本实用新型涉及质谱仪器的技术领域，具体是涉及一种用于质谱仪器的多路比例进气装置，包括本体，本体上开设有多个螺孔，螺孔处通过螺钉固定有多个管道。本体内转动安装有阀芯，阀芯远离管道的一端与电机的输出端相连。管道靠近阀芯的一端连接有流道，流道远离管道的一端垂直连接有输出通道。输出通道的侧壁上连接有旁路，旁路远离输出通道的一端与另一条管道连接。多个管道连接不同的气体，实现多种气体同时连接入气路，当阀芯转动到指定位置时，此位置连通的气体便接入了阀芯，此时其余气路不会干扰。管道与管道之间通过流道、输出通道和旁路实现连通，加之与阀芯之间的配合调节了气体流量，实现了可调节的比例输出。