[实用新型]用于质谱仪器的多路比例进气装置

权利要求书

1.一种用于质谱仪器的多路比例进气装置，其特征在于，包括本体，所述本体上开设有多个螺孔，所述螺孔处密封插设有多个管道；所述本体内转动安装有阀芯，所述阀芯远离所述管道的一端与电机的输出端相连；所述管道靠近所述阀芯的一端连接有流道，所述流道远离所述管道的一端垂直连接有输出通道；所述输出通道的侧壁上连接有旁路，所述旁路远离所述输出通道的一端与另一个管道连接。

2.根据权利要求1所述的用于质谱仪器的多路比例进气装置，其特征在于，所述螺孔处通过螺钉压住密封锥实现对所述管道的密封固定。

3.根据权利要求1所述的用于质谱仪器的多路比例进气装置，其特征在于，所述阀芯与所述本体之间具有相互对应的锥形结合面，所述阀芯通过压紧螺母和弹性件紧压在锥形结合面内。

4.根据权利要求1所述的用于质谱仪器的多路比例进气装置，其特征在于，所述输出通道横向设置在所述本体的中部，且所述输出通道远离所述阀芯的一端垂直连接有排出管道，所述排出管道具有弯折部。

5.根据权利要求1所述的用于质谱仪器的多路比例进气装置，其特征在于，所述输出通道的输出口通过螺钉和压簧贴合连接有软垫，所述软垫受力被顶起。

6.根据权利要求1所述的用于质谱仪器的多路比例进气装置，其特征在于，所述本体远离所述阀芯的一端设置有容置空间，所述容置空间内设有旋转螺钉，所述旋转螺钉通过旋转以调节所述输出通道内的压力。

7.根据权利要求1所述的用于质谱仪器的多路比例进气装置，其特征在于，所述旁路的一端与输出通道的侧壁连接并连通所述输出通道的内部，所述旁路的另一端通过所述管道连通质谱仪器腔室。