[实用新型]一种硅片清洗用双层石英槽

摘要

本实用新型公开了一种硅片清洗用双层石英槽，包括石英槽本体，石英槽本体的内部设置有若干个放置杆组成的放置架，放置架的上端一侧设置有提升机构，放置架通过提升机构在石英槽本体内部竖向移动，本实用新型具有以下优点：通过设置提升机构，只需拉动提升机构的横杆就可以提起和放回放置架，此种移动方式简单且成本低，适用于小批次的硅片清洗，同时通过提升机构可以带动放置架上的硅片上下移动，使得硅片产生振动，硅片上的污渍可掉落，便于清洗，通过设置与放置架一体化连接的滤板，滤板可对废液进行过滤，并且当提出放置架时，与放置架底端固定的滤板随之被提出，方便清洗其表面的杂质。