[实用新型]一种用于真空处理设备的密封检测装置有效

专利信息
申请号: 202220668393.3 申请日: 2022-03-24
公开(公告)号: CN217276741U 公开(公告)日: 2022-08-23
发明(设计)人: 常鸿;王用文;刘天才;陈佳 申请(专利权)人: 成都齐兴真空镀膜技术有限公司
主分类号: G01M3/26 分类号: G01M3/26
代理公司: 成都华复知识产权代理有限公司 51298 代理人: 管弦
地址: 610000 四川省成都市*** 国省代码: 四川;51
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摘要: 实用新型属于真空处理设备生产技术领域,尤其为一种用于真空处理设备的密封检测装置,包括检测台和活动放置在检测台顶部的真空处理设备本体,所述检测台的顶部固定设置有支撑板,所述支撑板的一侧固定设置有电动推杆,所述电动推杆的输出轴上固定设置有安装板,所述安装板一侧固定安装有压力传感器,所述压力传感器的一侧固定设置有传递杆,所述传递杆的一端固定设置有密封塞。本实用新型便于对不同大小的真空处理设备本体进行夹持固定,避免检测时发生偏移而影响检测的结果,通过电动推杆、控制器、显示屏、安装板、压力传感器、传递杆和密封塞的配合,便于对真空处理设备本体的密封性进行检测,提高了检测的效率。
搜索关键词: 一种 用于 真空 处理 设备 密封 检测 装置
【主权项】:
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