[实用新型]一种靶材表面抛光装置有效
申请号: | 202220657110.5 | 申请日: | 2022-03-25 |
公开(公告)号: | CN217097172U | 公开(公告)日: | 2022-08-02 |
发明(设计)人: | 常代展;王雷 | 申请(专利权)人: | 江苏海泰新材料科技有限公司 |
主分类号: | B24B29/02 | 分类号: | B24B29/02;B24B27/00;B24B41/06;B24B47/12;B24B57/02;B24B41/00 |
代理公司: | 南通亿旸知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 32578 | 代理人: | 丁松鹏 |
地址: | 226000 江苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种靶材表面抛光装置,包括底座,所述底座的两侧设有相对应的抛光机构,所述底座的中间设有两条滑轨,两条所述滑轨上设有夹持机构,本实用新型结构简单,设计新颖,特设的两个抛光机构可以同时对靶材进行打磨,在抛光的同时会不断喷淋抛光液以便于靶材表面的抛光,从而提高抛光效率。 | ||
搜索关键词: | 一种 表面 抛光 装置 | ||
【主权项】:
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