[实用新型]一种靶材表面抛光装置

权利要求书

1.一种靶材表面抛光装置，包括底座1，其特征在于：所述底座1的两侧设有相对应的抛光机构2，所述底座1的中间设有两条滑轨11，两条所述滑轨11上设有夹持机构3，所述夹持机构3包括两个安装块31，每个所述安装块31内均贯穿有转轴311，所述转轴311的两端设有滑轮312，两侧所述滑轮312分别嵌于相对应的滑轨11内，每个所述安装块31的上端均设有支架32，两个所述支架32之间设加固杆33，所述加固杆33的两侧均设有多个相对应的支撑杆331，所述支撑杆331呈倾斜状设置，每个所述支撑杆331上均设有滚轮332；

其中一个所述支架32的上端设有顶杆321，所述顶杆321的一端通过旋转连接件322连接着第一磁吸盘323，所述顶杆321的另一端连接着气缸324；

另一个所述支架32的上端设有旋转杆325，所述旋转杆325的一端连接着第二磁吸盘326，所述旋转杆326的另一端连接着旋转电机327；

所述第一磁吸盘323与第二磁吸盘326相对设置，且位于同一水平线上。

2.根据权利要求1所述的一种靶材表面抛光装置，其特征在于：所述抛光机构2包括壳体21，所述壳体21内分别设有主动滚筒22和从动滚筒23，所述主动滚筒22和从动滚筒23之间套有抛光砂带24，所述壳体2内还设有水管25，所述水管25上设有喷淋头251，所述喷淋头251对应于抛光砂带24上方，所述水管25连接着抛光液存储器252，所述壳体21的下方设有出水口211。

3.根据权利要求1所述的一种靶材表面抛光装置，其特征在于：其中一个所述安装块31内设有驱动器313，所述驱动器313与该安装块31内的转轴311之间相互连接。

4.根据权利要求1所述的一种靶材表面抛光装置，其特征在于：所述底座1上还设有排水口12，所述底座1下方设有多个支撑腿13。

5.根据权利要求2所述的一种靶材表面抛光装置，其特征在于：每个所述主动滚筒22均连接着驱动电机221，每个所述抛光机构2的下方均设有支撑柱26。