[实用新型]一种消除静电污染的真空吸笔有效
| 申请号： | 202220655924.5 | 申请日： | 2022-03-24 |
| 公开（公告）号： | CN217426708U | 公开（公告）日： | 2022-09-13 |
| 发明（设计）人： | 冀然 | 申请（专利权）人： | 青岛天仁微纳科技有限责任公司 |
| 主分类号： | H01L21/683 | 分类号： | H01L21/683;G03F7/00;H05K9/00 |
| 代理公司： | 山东重诺律师事务所 37228 | 代理人： | 王鹏里 |
| 地址： | 266109 山东省青岛市城阳区城*** | 国省代码： | 山东;37 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 一种消除静电污染的真空吸笔，包括承载固定部分，连接杆和握柄，所述的承载固定部分为圆环状，所述的承载固定部分通过连接杆与握柄相连；所述的承载固定部分的上表面设有两组左、右对称分布的凹槽；两个左、右对称分布的所述凹槽的连接处的槽底部位设有真空孔；所述的连接杆和握柄中心部位设置有真空气路。设置的真空吸笔底座内设有真空吸笔放置腔，圆弧状的承载固定部分将晶圆牢牢吸附固定晶圆边缘，避免在转移过程中发生位移。圆弧装设计的承载固定部分避免与顶针发生位置冲突。通过导电线与晶圆接触后，导电线下一端接地将静电导出，消除晶圆在转移和其他工艺过程中产生的静电，避免静电污染，提高纳米压印的良率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 消除 静电 污染 真空 | ||
【主权项】：
暂无信息
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
