[实用新型]多线切割机砂浆喷嘴流量控制装置及多线切割机有效
申请号: | 202220591263.4 | 申请日: | 2022-03-18 |
公开(公告)号: | CN217372944U | 公开(公告)日: | 2022-09-06 |
发明(设计)人: | 魏聪;田野 | 申请(专利权)人: | 徐州鑫晶半导体科技有限公司 |
主分类号: | B28D5/04 | 分类号: | B28D5/04;B28D7/00;B28D7/02 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 221000 江苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本实用新型公开一种多线切割机砂浆喷嘴流量控制装置及多线切割机,包括砂浆喷嘴组件、流量调节阀、无线测温装置和控制器,所述砂浆喷嘴组件包括喷嘴和连接管,所述喷嘴均布在连接管上,且与连接管连通;所述流量调节阀一端与连接管相连,另一端与喷嘴相连;所述无线测温装置安装在喷嘴外壁上,用于测量单晶硅棒的温度;所述控制器与流量调节阀和无线测温装置相连,所述控制器安装在连接管或喷嘴上。本实用新型能够在切割硅片的过程中,根据局部硅棒切割时的局部温度控制局部砂浆流量,从而避免单晶硅棒在多线切割过程中,因单晶硅棒局部温度波动导致切割硅片局部位置出现翘曲异常的问题。 | ||
搜索关键词: | 切割机 砂浆 喷嘴 流量 控制 装置 | ||
【主权项】:
暂无信息
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