[实用新型]一种用于晶圆加工的防护垫片

摘要

本实用新型涉及晶圆加工技术领域，且公开了一种用于晶圆加工的防护垫片，包括加工托盘，所述加工托盘的左端设置有安装连接件，所述加工托盘的右端设置有放置端，所述放置端上端的左侧设置有左侧接触面，所述放置端上端的右侧设置有右侧接触面，所述左侧接触面上端的边侧设置有左侧防护条，所述右侧接触面上端的额边侧设置有右侧防护条。该防护垫片能够有效使晶圆脱离与加工托盘的直接接触，避免产生滑片、划伤、微粒，保证了生产效率，同时通过安装孔方便将安装连接件和加工设备进行连接安装，在晶圆放置时，利用两侧防护条进行保护，增加了晶圆放置的稳定性。