[实用新型]一种铜基板加工用微蚀装置有效
| 申请号： | 202220522929.0 | 申请日： | 2022-03-09 |
| 公开（公告）号： | CN216947205U | 公开（公告）日： | 2022-07-12 |
| 发明（设计）人： | 袁江涛;高楚涛 | 申请（专利权）人： | 深圳市嘉立创科技发展有限公司 |
| 主分类号： | C23F1/08 | 分类号： | C23F1/08;C23F1/02;C23F1/34 |
| 代理公司： | 深圳市中联专利代理有限公司 44274 | 代理人： | 陈德文 |
| 地址： | 518000 广东省深圳*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型所涉及一种铜基板加工用微蚀装置，包括一放置盘，放置盘外壁通过两个夹持组件分别连接有两个夹持块，两个夹持块位于放置盘的上方，放置盘的外壁通过安装组件连接有容器，容器内含有微蚀液，容器通过连接组件连接有限制组件，限制组件用于精准控制微蚀液在基板铜覆层上的位置，两个夹持组件对称设置，且夹持组件包括与放置盘固定连接有固定块，固定块具有一滑孔，滑孔内壁滑动连接有滑杆。本实用新型通过移动限制组件，将两个第一板体和两个第二板体位于基板上微蚀的地方，拉动拉板，使得微蚀液流出并于基板上铜覆层接触，实现对基板的铜覆层的准确微蚀操作，解决了现有技术中铜覆层微蚀时边缘参差不齐的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 铜基板加 工用 装置 | ||
【主权项】：
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