[实用新型]一种铜基板加工用微蚀装置有效
申请号: | 202220522929.0 | 申请日: | 2022-03-09 |
公开(公告)号: | CN216947205U | 公开(公告)日: | 2022-07-12 |
发明(设计)人: | 袁江涛;高楚涛 | 申请(专利权)人: | 深圳市嘉立创科技发展有限公司 |
主分类号: | C23F1/08 | 分类号: | C23F1/08;C23F1/02;C23F1/34 |
代理公司: | 深圳市中联专利代理有限公司 44274 | 代理人: | 陈德文 |
地址: | 518000 广东省深圳*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 铜基板加 工用 装置 | ||
1.一种铜基板加工用微蚀装置,其特征在于,包括一放置盘(1),所述放置盘(1)外壁通过两个夹持组件分别连接有两个夹持块(2),两个所述夹持块(2)位于所述放置盘(1)的上方,所述放置盘(1)的外壁通过安装组件连接有容器(3),所述容器(3)内含有微蚀液,所述容器(3)通过连接组件连接有限制组件,所述限制组件用于精准控制微蚀液在基板铜覆层上的位置。
2.根据权利要求1所述的一种铜基板加工用微蚀装置,其特征在于,两个所述夹持组件对称设置,且所述夹持组件包括与放置盘(1)固定连接有固定块(4),所述固定块(4)具有一滑孔(5),所述滑孔(5)内壁滑动连接有滑杆(6),所述滑杆(6)的一端固定连接有移动板(7),另一端与相应的夹持块(2)固定连接,所述滑杆(6)外壁套设有第一弹簧(8),所述第一弹簧(8)的两端分别与移动板(7)和固定块(4)连接。
3.根据权利要求1所述的一种铜基板加工用微蚀装置,其特征在于,所述安装组件包括与放置盘(1)固定连接的安装块(9),所述安装块(9)转动连接有弯折杆(10),所述弯折杆(10)的一端固定套接有环体(11),所述容器(3)外观呈圆柱体状,所述容器(3)具有一圆槽(12)和两个圆孔(13),所述弯折杆(10)的外壁穿过其中一个圆孔(13),所述环体(11)位于圆槽(12)内,所述环体(11)上设置有第二弹簧(29)。
4.根据权利要求1所述的一种铜基板加工用微蚀装置,其特征在于,所述连接组件包括固定套接在容器(3)外壁上的限位环(14),所述容器(3)连接有连接块(15),所述连接块(15)具有一限位槽(16)和一连通槽(17),所述连接块(15)上开设有两行平行设置的滑槽(18)。
5.根据权利要求4所述的一种铜基板加工用微蚀装置,其特征在于,所述限制组件包括两个滑块(19),两个所述滑块(19)分别位于相应的滑槽(18)内,所述滑块(19)固定连接有第一板体(20),两个所述第一板体(20)固定连接有两个第二板体(21)。
6.根据权利要求5所述的一种铜基板加工用微蚀装置,其特征在于,其中一个所述第二板体(21)开设有槽体(22),另一个所述第二板体(21)开设有拉槽(23),两个所述第二板体(21)固定连接有第一固定板(24),所述拉槽(23)滑动连接有拉板(25),所述拉板(25)通过第三弹簧(26)与其中一个所述第二板体(21)连接,所述拉板(25)固定连接有第二固定板(27),所述第一固定板(24)与第二固定板(27)上均开设有多个通孔(28)。
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