[实用新型]一种同步旋转式大尺寸石英坩埚熔封机有效
申请号: | 202220475732.6 | 申请日: | 2022-03-04 |
公开(公告)号: | CN216764703U | 公开(公告)日: | 2022-06-17 |
发明(设计)人: | 李博文;李辉;饶丹丹 | 申请(专利权)人: | 合肥执如光电科技有限公司 |
主分类号: | C03B23/207 | 分类号: | C03B23/207 |
代理公司: | 合肥天明专利事务所(普通合伙) 34115 | 代理人: | 周静 |
地址: | 230601 安徽省合肥市*** | 国省代码: | 安徽;34 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种同步旋转式大尺寸石英坩埚熔封机,包括支撑板,支撑板的顶面两端分别竖直固定有第一支撑架和第二支撑架,第一支撑架和第二支撑架之间安装有用于限定石英坩埚位置的限位机构,支撑板的上方固定有氢氧焰喷嘴和能够带动石英坩埚进行旋转的旋转机构;旋转机构包括电机,电机的输出端连接有旋转轴,旋转轴连接有传动组件;石英坩埚的开口端连接有真空密封组件。本实用新型提供的同步旋转式大尺寸石英坩埚熔封机,可在惰性气体或保护气体气氛下进行缩颈处理以及石英坩埚的同步旋转,最大程度地减小熔封周围的应力。本实用新型能够对各种尺寸的石英坩埚进行密封,提高工作效率,减小技术要求、降低人力成本。 | ||
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【主权项】:
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