[实用新型]一种同步旋转式大尺寸石英坩埚熔封机

权利要求书

1.一种同步旋转式大尺寸石英坩埚熔封机，其特征在于：包括支撑板，所述支撑板的顶面两端分别竖直固定有第一支撑架和第二支撑架，所述第一支撑架和第二支撑架之间安装有用于限定石英坩埚位置的限位机构；所述支撑板的上方固定有氢氧焰喷嘴和能够带动石英坩埚进行旋转的旋转机构，所述氢氧焰喷嘴位于石英坩埚一侧；所述石英坩埚的开口端连接有真空密封组件；其中：

所述限位机构包括竖直设置在第一支撑架和第二支撑架之间的滑动支撑架，所述第一支撑架和第二支撑架之间水平对称固定有一对滑杆，所述滑动支撑架与滑杆滑动连接；所述滑动支撑架和第一支撑架的相对侧壁的上部通过连接轴承对称安装有一对用于安装石英坩埚的卡盘；所述第一支撑架和滑动支撑架之间固定有能够沿石英坩埚的长度方向进行伸缩运动的第一伸缩杆；

所述旋转机构包括电机，所述电机的输出端连接有旋转轴，所述旋转轴连接有传动组件，所述旋转轴安装在第一支撑架和第二支撑架之间，且旋转轴穿过滑动支撑架并与滑动支撑架转动连接；所述传动组件与连接轴承连接。

2.根据权利要求1所述的同步旋转式大尺寸石英坩埚熔封机，其特征在于：所述支撑板的下方安装有用于调节支撑板倾斜角度的位置调节机构，所述位置调节机构包括固定架，所述固定架的一端通过第一铰链与支撑板的一端铰接；所述固定架的另一端沿竖直方向固定有第二伸缩杆，所述第二伸缩杆的顶部通过第二铰链与支撑板的另一端铰接。

3.根据权利要求1所述的同步旋转式大尺寸石英坩埚熔封机，其特征在于：所述真空密封组件包括真空法兰、旋转密封件和卡箍，所述真空法兰连接在石英坩埚开口端，所述卡箍位于真空法兰、旋转密封件之间用于实现真空法兰与旋转密封件的连接。

4.根据权利要求3所述的同步旋转式大尺寸石英坩埚熔封机，其特征在于：所述旋转密封件为磁流体密封件或O型圈密封件。

5.根据权利要求1-4任一项所述的同步旋转式大尺寸石英坩埚熔封机，其特征在于：所述传动组件为同步带轮组，所述同步带轮组包括对称安装在第一支撑架和滑动支撑架的相背侧壁上部的一对驱动带轮和一对从动带轮，所述驱动带轮和从动带轮通过同步带传动连接；所述驱动带轮与旋转轴连接，所述从动带轮与连接轴承连接。

6.根据权利要求1-4任一项所述的同步旋转式大尺寸石英坩埚熔封机，其特征在于：所述传动组件为链条齿轮传动组件，所述链条齿轮传动组件包括对称安装在第一支撑架和滑动支撑架的相背侧壁上部的一对驱动齿轮和一对从动齿轮，所述驱动齿轮和从动齿轮通过链条传动连接；所述驱动齿轮与旋转轴连接，所述从动齿轮与连接轴承连接。

7.根据权利要求1所述的同步旋转式大尺寸石英坩埚熔封机，其特征在于：所述滑杆固定连接有灯头支撑架，所述氢氧焰喷嘴通过灯头支撑架固定在石英坩埚一侧；所述支撑板的顶部固定有电机支架，所述电机通过电机支架固定在支撑板的顶部。

8.根据权利要求1所述的同步旋转式大尺寸石英坩埚熔封机，其特征在于：所述卡盘为三爪卡盘或四爪卡盘。