[实用新型]一种双辊轴纳米压印装置有效
| 申请号： | 202220459826.4 | 申请日： | 2022-03-04 |
| 公开（公告）号： | CN216848462U | 公开（公告）日： | 2022-06-28 |
| 发明（设计）人： | 张琬皎;龙眈 | 申请（专利权）人： | 杭州欧光芯科技有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/00 | 分类号： | G03F7/00 |
| 代理公司： | 杭州求是专利事务所有限公司 33200 | 代理人： | 林超 |
| 地址： | 311200 浙江省杭州市大江东产业*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种双辊轴纳米压印装置。包括：机械臂、压印滚轮、辅助滚轮、调节臂、连接杆；机械臂与外部动力装置连接，压印滚轮套装于机械臂一端的轴承上，轴承的两端穿出压印滚轮后均连接到机械臂，其中，压印滚轮主要包括压印辊轴和压印层；辅助滚轮包括辊轴、辊轴轴芯以及套装于辊轴表面的滚轮体；连接杆两端分别与辅助滚轮辊轴轴芯和机械臂轴承连接，将压印滚轮和辅助滚轮连接；调节臂一端与辅助滚轮辊轴轴芯连接，另一端与机械臂连接。本实用新型通过辅助滚轮调节与水平面间的高度，控制压印模板的压印角度，解决压印模板压印时受力大弯折和形变，导致结构压印转移精度低、压印模板损伤的问题，提升压印精度和质量。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 辊轴 纳米 压印 装置 | ||
【主权项】：
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