[实用新型]一种双辊轴纳米压印装置有效
申请号: | 202220459826.4 | 申请日: | 2022-03-04 |
公开(公告)号: | CN216848462U | 公开(公告)日: | 2022-06-28 |
发明(设计)人: | 张琬皎;龙眈 | 申请(专利权)人: | 杭州欧光芯科技有限公司 |
主分类号: | G03F7/00 | 分类号: | G03F7/00 |
代理公司: | 杭州求是专利事务所有限公司 33200 | 代理人: | 林超 |
地址: | 311200 浙江省杭州市大江东产业*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 辊轴 纳米 压印 装置 | ||
1.一种双辊轴纳米压印装置,其特征在于:包括连接杆(61)、调节臂(41)、机械臂(11)、压印滚轮(01)和辅助滚轮(02);
所述连接杆(61)两端开孔,所述连接杆(61)的一端套装在辅助滚轮(02)的辊轴轴芯(202)上,且所述连接杆(61)的一端通过辊轴轴芯(202)与调节臂(41)的一端进行活动连接,所述连接杆(61)的另一端套装在压印滚轮(01)圆心处安装的轴承上,且所述连接杆(61)的另一端通过所述轴承与机械臂(11)的一端进行活动连接,所述调节臂(41)的另一端与机械臂(11)的另一端铰链连接。
2.根据权利要求1所述的一种双辊轴纳米压印装置,其特征在于:
所述的压印滚轮(01)包括压印辊轴(101)及套装在压印辊轴(101)外表面的压印层(102),所述压印辊轴(101)为中空圆柱,所述压印辊轴(101)的中空处安装有所述的轴承。
3.根据权利要求2所述的一种双辊轴纳米压印装置,其特征在于:
所述压印层(102)主要由压印层第一层(1021)、压印层第二层(1022)和压印层第三层(1023)由外到内依次套装叠加构成,所述压印层(102)通过压印层第一层(1021)与压印模板(04)上表面接触连接。
4.根据权利要求3所述的一种双辊轴纳米压印装置,其特征在于:
所述压印层第一层(1021)、压印层第二层(1022)和压印层第三层(1023)的弹性模量逐级递减。
5.根据权利要求1所述的一种双辊轴纳米压印装置,其特征在于:所述的辅助滚轮(02)主要由辊轴轴芯(202)、辊轴(203)和滚轮体(201)由内到外依次套装而成,所述的辅助滚轮(02)通过滚轮体(201)与压印模板(04)接触连接,所述压印模板(04)下方设置有待压对象(03),且压印模板(04)的下表面与待压对象(03)的上表面接触连接。
6.根据权利要求1所述的一种双辊轴纳米压印装置,其特征在于:所述压印滚轮(01)的直径大于辅助滚轮(02)的直径。
7.根据权利要求5所述的一种双辊轴纳米压印装置,其特征在于:所述辅助滚轮(02)中的滚轮体(201)的材料为树脂材料或者金属材料。
8.根据权利要求2所述的一种双辊轴纳米压印装置,其特征在于:压印层(102)的材料均为橡胶材料。
9.根据权利要求1所述的一种双辊轴纳米压印装置,其特征在于:所述机械臂(11)与外部动力机构连接。
10.根据权利要求1所述的一种双辊轴纳米压印装置,其特征在于:所述调节臂(41)为空气伸缩杆、液压杆或者伸缩电机。
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