[实用新型]一种用于连续式镀膜生产线的单体双室型真空箱体有效
申请号: | 202220455270.1 | 申请日: | 2022-03-03 |
公开(公告)号: | CN217324283U | 公开(公告)日: | 2022-08-30 |
发明(设计)人: | 李仕军;李茂 | 申请(专利权)人: | 广东生波尔光电技术有限公司 |
主分类号: | C23C14/56 | 分类号: | C23C14/56 |
代理公司: | 中山卓融知识产权代理事务所(普通合伙) 44791 | 代理人: | 彭国军;赵钊 |
地址: | 528400 广东省中山市板芙*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本实用新型提供一种用于连续式镀膜生产线的单体双室型真空箱体,包括前侧板组件、后侧板组件、顶板组件、底板组件、左侧板组件和右侧板组件,顶板组件、底板组件、左侧板组件和右侧板组件之间设有隔板组件,前侧板组件、顶板组件、底板组件、左侧板组件、右侧板组件和隔板组件之间形成有第一密封室,后侧板组件顶板组件、底板组件、左侧板组件、右侧板组件和隔板组件之间形成有第二密封室,左侧板组件上设有分别与第一密封室和第二密封室相连通的第一进料口和第一出料口,右侧板组件上设有分别与第一密封室和第二密封室相连通的第二出料口和第二进料口。由本实用新型组成的镀膜生产线,使镀膜生产线长度可比单体单室生产线缩短一半的长度。 | ||
搜索关键词: | 一种 用于 连续 镀膜 生产线 单体 双室型 真空 箱体 | ||
【主权项】:
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