[实用新型]一种用于连续式镀膜生产线的单体双室型真空箱体有效
| 申请号： | 202220455270.1 | 申请日： | 2022-03-03 |
| 公开（公告）号： | CN217324283U | 公开（公告）日： | 2022-08-30 |
| 发明（设计）人： | 李仕军;李茂 | 申请（专利权）人： | 广东生波尔光电技术有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/56 | 分类号： | C23C14/56 |
| 代理公司： | 中山卓融知识产权代理事务所(普通合伙) 44791 | 代理人： | 彭国军;赵钊 |
| 地址： | 528400 广东省中山市板芙*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 用于 连续 镀膜 生产线 单体 双室型 真空 箱体 | ||
1.一种用于连续式镀膜生产线的单体双室型真空箱体，其特征在于包括前侧板组件(1)、后侧板组件(2)、顶板组件(3)、底板组件(4)、左侧板组件(5)和右侧板组件(6)，所述顶板组件(3)、底板组件(4)、左侧板组件(5)和右侧板组件(6)之间设有隔板组件(7)，所述前侧板组件(1)、顶板组件(3)、底板组件(4)、左侧板组件(5)、右侧板组件(6)和隔板组件(7)之间形成有第一密封室(8)，所述后侧板组件(2)顶板组件(3)、底板组件(4)、左侧板组件(5)、右侧板组件(6)和隔板组件(7)之间形成有第二密封室(9)，所述左侧板组件(5)上设有分别与所述第一密封室(8)和所述第二密封室(9)相连通的第一进料口(51)和第一出料口(52)，所述右侧板组件(6)上设有分别与所述第一密封室(8)和所述第二密封室(9)相连通的第二出料口(61)和第二进料口(62)。
2.根据权利要求1所述的一种用于连续式镀膜生产线的单体双室型真空箱体，其特征在于所述隔板组件(7)的前后两面均设有冷水管路(71)。
3.根据权利要求1或2所述的一种用于连续式镀膜生产线的单体双室型真空箱体，其特征在于所述隔板组件(7)前后两面的四周均分别与所述顶板组件(3)、底板组件(4)、左侧板组件(5)和右侧板组件(6)进行内密封焊接。
4.根据权利要求1所述的一种用于连续式镀膜生产线的单体双室型真空箱体，其特征在于所述前侧板组件(1)和所述后侧板组件(2)上均设有真空抽气口(10)和传动组件安装孔(20)。
5.根据权利要求3所述的一种用于连续式镀膜生产线的单体双室型真空箱体，其特征在于所述顶板组件(3)和底板组件(4)上均设有检漏孔(30)。
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