[实用新型]一种可探测晶圆边缘的晶圆测试探针座有效
| 申请号： | 202220428869.6 | 申请日： | 2022-03-01 |
| 公开（公告）号： | CN217404467U | 公开（公告）日： | 2022-09-09 |
| 发明（设计）人： | 刘烽;郭云静 | 申请（专利权）人： | 河北西五科技有限公司 |
| 主分类号： | G01R31/28 | 分类号： | G01R31/28;G01R1/04 |
| 代理公司： | 亳州速诚知识产权代理事务所(普通合伙) 34157 | 代理人： | 宋心晶 |
| 地址： | 066010 河北省秦皇岛*** | 国省代码： | 河北;13 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及晶圆检测技术领域，具体的说是一种可探测晶圆边缘的晶圆测试探针座，包括顶板，顶板的底面安装有一号丝杆和与该一号丝杆传动连接的一号电机，一号丝杆上螺纹传动安装有一号滑板，一号滑板的底面安装有二号丝杆和与该二号丝杆传动连接的二号电机，二号丝杆上螺纹传动安装有二号滑板，二号滑板的底面固定安装有气缸，气缸的伸缩端固定安装有升降座，升降座上安装有探针，升降座的底面安装有若干均匀分布于探针外圈的摄像头；本实用新型在探针的外圈设置有摄像头，配合CCD视觉检测系统，可在探针移动过程中同步对晶圆进行视觉检测，从而可确定探针是否到达晶圆边缘，防止探针检测时未抵达晶圆边缘造成漏检，确保晶圆检测的精确性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 探测 边缘 测试 探针 | ||
【主权项】：
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