[实用新型]一种用于单晶硅生产合炉的吊料盘有效

专利信息
申请号: 202220356523.X 申请日: 2022-02-22
公开(公告)号: CN216765125U 公开(公告)日: 2022-06-17
发明(设计)人: 刘国勇;龚小伦;路建华 申请(专利权)人: 乐山市京运通新材料科技有限公司
主分类号: C30B35/00 分类号: C30B35/00;C30B29/06
代理公司: 成都蓉创智汇知识产权代理有限公司 51276 代理人: 赵雷
地址: 614000 四川省*** 国省代码: 四川;51
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摘要: 实用新型公开了一种用于单晶硅生产合炉的吊料盘,涉及单晶硅制造技术领域,其可至少部分解决现有技术中需要现场进行填料,填料时间长,填料时容易造成物料污染的问题,本实用新型实施例的一种用于单晶硅生产合炉的吊料盘,包括吊料盘本体,吊料盘本体包括位于中间位置的功能区和位于功能区外侧的环形密封区,环形密封区底部盖设有宽度与环形密封区的宽度相同的环形密封圈,环形密封圈用于与不同尺寸的坩埚本体相适配。
搜索关键词: 一种 用于 单晶硅 生产 吊料盘
【主权项】:
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